潔凈室是污染控制的基礎(chǔ)，是一個(gè)有空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、建筑材料和裝置的房間。在潔凈室極高的硅片制造鏈中，必須是沒(méi)有污染源的潔凈車(chē)間，才能使硅片零件正常量產(chǎn)。

與國(guó)外相比，中國(guó)潔凈室的發(fā)展起步相對(duì)較晚。在過(guò)去的二十年里，隨著越來(lái)越多的外國(guó)公司在中國(guó)設(shè)立企業(yè)或合資企業(yè)，一些高科技技術(shù)增加了他們對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求。為了提升競(jìng)爭(zhēng)力，各個(gè)行業(yè)都開(kāi)始追求潔凈室的質(zhì)量。

? ? 正確、合理的設(shè)計(jì)是保證無(wú)塵室穩(wěn)定運(yùn)行的前提，在實(shí)際使用中，不正確的維護(hù)操作和不規(guī)范的管理都會(huì)使無(wú)塵室的空氣潔凈度降低，造成無(wú)塵室指標(biāo)達(dá)不到要求。因此，正確科學(xué)地進(jìn)行無(wú)塵室維護(hù)和管理非常重要，并且這要從各方面來(lái)完善。

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人員控制

? ? 經(jīng)測(cè)試分析，無(wú)塵室的微污染中80%是工作人員帶來(lái)的。當(dāng)工作人員進(jìn)出無(wú)塵室時(shí)塵埃有顯著增加，潔凈度立刻劣化。因此在工作人員進(jìn)入無(wú)塵室前要做好清潔擦拭等防塵動(dòng)作，且企業(yè)也要對(duì)工作人員進(jìn)行培訓(xùn)，并制定相應(yīng)的章程和制度等。

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