潔凈室的氣流是影響潔凈室性能的重要因素。一般潔凈室的氣流速度在0.25-0.5m/s之間，屬于微風(fēng)區(qū)，容易受到人和機(jī)器動(dòng)作的干擾。雖然提高風(fēng)速可以抑制這種擾動(dòng)的影響，保持潔凈度，但風(fēng)速的提高會(huì)影響運(yùn)行費(fèi)用的增加。因此，當(dāng)達(dá)到要求的潔凈度水平時(shí)，應(yīng)以最合適的風(fēng)速向以下位置送風(fēng)

另一方面，為了達(dá)到潔凈室潔凈度的穩(wěn)定效果，保持均勻的氣流也是一個(gè)重要因素。如果不能保持均勻的氣流，就說(shuō)明風(fēng)速不一樣，特別是在墻面上，氣流會(huì)沿著墻面打旋，這個(gè)時(shí)候要達(dá)到高潔凈度其實(shí)是很難的。

為了在垂直層流方向上保持均勻的氣流，有必要：(a)吹送空氣的速度不應(yīng)有差異；(b)地板回風(fēng)板吸力面的風(fēng)速不得不同速。速度過(guò)低或過(guò)高(0.2m/s、0.7m/s)時(shí)會(huì)產(chǎn)生渦流，而0.5m/s時(shí)氣流相對(duì)均勻(21世紀(jì)80、90年代)，一般潔凈室的風(fēng)速在0.25-0.5m/s之間。

影響潔凈室氣流的因素很多，如工藝設(shè)備、人員、潔凈室裝配材料、照明燈具等。同時(shí)，還應(yīng)考慮生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點(diǎn)。

一般操作臺(tái)或生產(chǎn)設(shè)備表面的氣流分流點(diǎn)應(yīng)位于潔凈室空間與隔板距離的2/3處，使氣流從工藝區(qū)內(nèi)部流向操作區(qū)，帶走粉塵。如果分流點(diǎn)布置在工藝區(qū)的前面，就會(huì)變成氣流分流不當(dāng)。此時(shí)大部分氣流會(huì)流向工藝區(qū)后面，操作者操作產(chǎn)生的粉塵會(huì)被帶到設(shè)備后面，從而污染工作臺(tái)，成品率必然下降。

房間內(nèi)無(wú)塵工作臺(tái)等障礙物會(huì)在連接處產(chǎn)生渦流現(xiàn)象，周?chē)臐崈舳葧?huì)相對(duì)較差。在工作臺(tái)上鉆回氣孔將渦流現(xiàn)象降到最低。組裝材料的選擇是否合適，設(shè)備的布局是否完善，也是氣流是否成為渦流現(xiàn)象的重要因素。