干凈的概念？按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化水平主要是根據(jù)每立方米空氣中直徑大于分類(lèi)標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物數(shù)量來(lái)定義的?？刂圃谝粋€(gè)非常小的單元中。與我們常見(jiàn)的灰塵相比，該標(biāo)準(zhǔn)中的灰塵顆粒非常小，但即使是一點(diǎn)點(diǎn)灰塵也會(huì)對(duì)光學(xué)結(jié)構(gòu)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以無(wú)塵是光學(xué)結(jié)構(gòu)產(chǎn)品生產(chǎn)的必然要求。如果每立方米小于0.5微米的塵粒數(shù)控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。目前應(yīng)用于芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)粉塵的要求比A級(jí)更高，這樣的高標(biāo)準(zhǔn)主要用于一些更高級(jí)別的芯片生產(chǎn)。細(xì)粉塵量嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。

無(wú)塵車(chē)間是指在一定空間范圍內(nèi)消除空氣中的顆粒物、有害空氣、細(xì)菌等污染物，將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度及分布、噪聲、振動(dòng)、照明、靜電等控制在一定需求范圍內(nèi)的專門(mén)設(shè)計(jì)的房間。